EPA工作区域是指配备各种防静电设备和器材,能限制静电电位,具有确定边界和专门标记的、适于从事静电防护操作的场所。
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光电器件制造工段是操作静电放电敏感电子产品的工作区域,因此必须建立合格的EPA工作区域,依据标准GJB3007-1997防静电工作区域技术要求。
基本要求:
1.抑制静电电荷的产生和累积。
2.迅速、安全、有效的消除已经产生的静电荷。
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一、防静电工作区域场地
要用由静电耗散型材料制成的地面,如防静电的活动地板,防静电环氧自流坪或在普通地面上铺设静电地垫,并有效接地。将EPA区域外围用防静电工作区域标志(黄黑相间或黄白相间的条纹胶带)来确定边界。
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二、防静电接地
防静电接地系统必须有独立可靠的接地装置,接地电阻一般小于10Ω,接地主干线截面积应不小于100平方毫米;支干线截面积应不小于6平方毫米;设备和工作台的接地线应采用截面积不小于1.25平方毫米的多股缚塑干线,接地线颜色以黄绿色相宜。接地主干线的连接方式应采用钎焊,各支干连接接端子应确保接触可靠,并易拆装,允许使用各种夹式连接器,如鳄鱼夹,插头座等。
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三、环氧条件控制
1. 温度
EPA区域内应装有温度调节装置,以维持其室温在15℃-35℃范围内。采用准确度优于1.5℃的温度计测量EPA的温。并在每日的同一时间测量和记录,目前该EPA区域内尚缺乏此项装置。
2.湿度
EPA区域内应装置设有湿度调节装置,保持其室内相对湿度在RH45%-75%范围内,采用度优于±2%的湿度计测量EPA内的湿度,并在每日的同一时间测量和记录。在不对产品及工艺有影响的前提下允许采用增湿设备,以增加环境湿度。目前该EPA区域内尚缺乏此项装置。
3. 气压
EPA内大气压力应在86-106KPA范围内,不能满足上述要求时应采取调压措施。
4. 洁净度(必要时)
5. 静电消除器
在防静电工作台面上方的适当部位或者其他重要部位,应装设静电消除器,以消除未打开的包装件上的静电荷和在操作过程中因人体、工具及其它物品相互摩擦在工件上所产生的静电荷。静电消除器应能消除任何一种极性的电荷,并在其有效防护区域内使静电保持在规定值之内,中和能力应优于±250V/S,目前该区域尚未安装静电消除器。
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四、防静电工台工位、设施
静电安全工作台
静电安全工作台是EPA区域的基本组成部分,它由工作台、防静电座椅、防静电台垫、防静电手腕带、插座、接头和接地线等组成。工作台建议用钢制工作台,铺设静电桌垫,并安装不少于两个腕带接头(插座),一个供操作人员使用,另一个供技术人员、检验人员或其它人员使用,腕带接头(插座)须有效接至大地线。并配置防静电座椅,须安装金属拖地链。
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防静电周转容器
EPA工作区域内的一切储存,周转的容器应具备静电防护功能,不允许使用金属和普通塑料容器。包括了防静电周转车、防静电周转架、防静电手推车、防静电元件盒、防静电托盘、防静电芯片盒、防静电中空板箱。必要时,存放部件用的周转箱应接地。
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防静电操作器具
EPA工作区域内应使用具有防静电功能的工具,如防静电镊子、防静电烙铁等,不具备防静电功能的必备工具、用具应放在防静电桌垫上,并置于静电消除器的作用范围内。
五、操作人员的静电防护
EPA区域的所有人员应穿着防静电服装、戴防静电帽子、穿防静电鞋、戴防静电手套及指套,临时因工作需要进入EPA区域内人员,允许穿普通鞋,但应同时使用导电鞋或静电脚筋带,并配备无绳手腕带。
六、静电的检测及监测
EPA区域内应配备常用的静电检测仪器,以便定时检测各项静电防护措施的有效状况及首次进入EPA区域内的物品的静电状况。
1.静电场测试仪 ——测量EPA区域各部位的静电压;
2.表面电阻测试仪 ——测量物品表面的电阻;
3.重锤式阻抗仪 ——测量点对点表面电阻以及体积电阻;
4.腕带接地监测仪 ——测量静电腕带及静电台垫须接地装置的实时的连续监测控制器;
七、技术管理要求
1.人员培训:凡与EPA相关的工作人员均需经过基本防静电知识的培训,操作人员应掌握各种器具的使用技能和操作规则与方法。
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2.定期检查 :对EPA的各项技术要求,必须经常地进行检查,监测以维持各项设备符合预定的标准(附表)。
八、 防静电知识:
1、ESD 静电放电
2、ESDS 静电放电敏感度
3、EPA ESD保护区域
4、EBP EPA接地连接点
5、静电耗散材料:表面电阻率:1*105Ω?1*1012Ω,体积电阻率:1*104Ω?1*1011Ω。
6、导静电材料:表面电阻率:<1*105Ω,体积电阻率:<1*104Ω